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请教MEMS气体流量传感器的原理？mems原理？

请教MEMS气体流量传感器的原理？产品原理MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布...

2024-03-17 请教 MEMS 气体流量传感器原理 mems